金相显微镜采用可见光作为光源，扫描电镜采用电子束作为光源成像。原理不同：金相显微镜应用几何光学成像原理停止成像，扫描电镜应用高能量电子束轰击样品外表，激起出样品外表的各种物理信号，再应用不同的信号探测器承受物理信号转换成图像信息。分辨率不同：金相显微镜由于光的干预与衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之间。扫描电镜由于采用电子束作为光源，其分辨率可到达1-3nm之间，因而金相显微镜的组织察看属于微米级剖析，扫描电镜的组织观测属于纳米级剖析。 　　景深不同：普通金相显微镜的景深在2-3um之间，因而对样品的外表润滑水平具有极高的请求，所以其的制样过程相比照较复杂。而扫描电镜则有很大的景深，视野大，成像富有平面感，可直接察看各种试样凹凸不平外表的细微构造。总的说来，光学显微镜主要用于润滑外表的微米级组织察看与丈量，由于采用可见光作为光源因而不只能察看样品表层组织而且在表层以下的一定范围内的组织同样也可被察看到，并且光学显微镜关于颜色的辨认十分敏感和精确。