即使样品没有进行比较好的切割或抛光，大景深的特性依旧能获得完全对焦图像。加上使用了Leica DVM6独有的同轴光斜照明的照明方式，将样品表面的难以发现细微形貌凸显出来。 使用传统金相显微镜看液晶屏上细微划痕时，也很难看到划痕的细节，这样就必须使用 SEM 来完成检测。将Leica DVM6的“景深叠加功能”与“斜照明功能“组合使用，可观察到玻璃面上划痕的所有形貌。